STN - Slowakische nationale Normen

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Assessment of surface cleanliness for chemical contamination (ISO 14644-10:2022)

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Cleanrooms and associated controlled environments - Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical concentration (ISO 14644-13:2026)

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Cleanrooms and associated controlled environments - Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration (ISO 14644-14:2026)

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Cleanrooms and associated controlled environments - Part 15: Assessment of suitability for use of equipment and materials by airborne chemical concentration (ISO 14644-15:2017)

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Cleanrooms and associated controlled environments - Part 16: Energy efficiency in cleanrooms and separative devices (ISO 14644-16:2019)

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Cleanrooms and associated controlled environments - Part 17: Particle deposition rate applications (ISO 14644-17:2021)

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Cleanrooms and associated controlled environments - Part 18: Assessment of suitability of consumables (ISO 14644-18:2023)

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Cleanrooms and associated controlled environments. Part 1: Classification of air cleanliness (ISO 14644-1:1999)

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Cleanrooms and associated controlled environments. Part 2: Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with ISO 14644-1 (ISO 14644-2:2000)

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Cleanrooms and associated controlled environments - Part 3: Test methods (ISO 14644-3:2005)

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