Ungültige | Herausgegeben: 10.10.2002

ASTM E2246-02 Ungültige

Standard Test Method for Strain Gradient Measurements of Thin, Reflecting Films Using an Optical Interferometer

Verfügbare Sprachen: Englisch

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Detailinformationen

Bezeichnung: ASTM E2246-02

Ausgabedatum: 10.10.2002

Seiten: 14

Anmerkung: Ungültige

Land: Amerikanische technische Norm

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Erhältlich auf www.technormen.de

Annotation

Keywords:
cantilevers, combined standard uncertainty, fixed-fixed beams, interferometry, length measurements, microelectromechanical systems, MEMS, polysilicon, residual strain, stiction, strain gradient, test structure, ICS Number Code 37.040.20 (Photographic paper, film and plates. Cartridges)

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