Ungültige | Herausgegeben: 01.11.2011

ASTM E2246-11 Ungültige

Standard Test Method for Strain Gradient Measurements of Thin, Reflecting Films Using an Optical Interferometer

Verfügbare Sprachen: Englisch

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Detailinformationen

Bezeichnung: ASTM E2246-11

Ausgabedatum: 01.11.2011

Seiten: 21

Anmerkung: Ungültige

Land: Amerikanische technische Norm

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Erhältlich auf www.technormen.de

Annotation

Keywords:
cantilevers, combined standard uncertainty, fixed-fixed beams, interferometry, length measurements, microelectromechanical systems, MEMS, polysilicon, residual strain, round robin, stiction, strain gradient, test structure, Alignment, Calibration--metals/alloys analysis instrumentation, Cantilever testing, Combined standard uncertainty, Fixed-fixed beams, Interferograms/Interferometry, Length, Microelectromechanical systems (MEMS), Noncontacting optical strain measurement systems

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