Ungültige | Herausgegeben: 10.06.2000

ASTM F1392-00 Ungültige

Standard Test Method for Determining Net Carrier Density Profiles in Silicon Wafers by Capacitance-Voltage Measurements With a Mercury Probe

Verfügbare Sprachen: Englisch

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Detailinformationen

Bezeichnung: ASTM F1392-00

Ausgabedatum: 10.06.2000

Seiten: 14

Anmerkung: Ungültige

Land: Amerikanische technische Norm

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Erhältlich auf www.technormen.de

Annotation

Keywords:
capacitance-voltage method, carrier density, carrier density profile, depth profile, epitaxial wafers, mercury probe, net carrier density, polished wafers, profiles, resistivity, silicon, single crystal silicon, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)

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