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Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS
Verfügbare Sprachen: Englisch (nur die Titelseite ist in der tschechischen Sprache)
Verfügbare Ausführung: Gedruckt
Bezeichnung: ČSN EN 62047-4
Ausgabedatum: 01.05.2011
Seiten: 32
Land: Tschechische technische Norm