Aktiv Normen | Herausgegeben: 01.06.2015

DIN 32567-4:2015-06

Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 4: Specimen for optical procedures.
(Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 4: Prüfkörper für optische Verfahren.)

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Detailinformationen

Bezeichnung: DIN 32567-4:2015-06

Ausgabedatum: 01.06.2015

Seiten: 13

Land: Deutsche technische Norm

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Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 4: Prüfkörper für optische Verfahren.

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