Aktiv Normen | Herausgegeben: 01.11.2014

DIN 50451-3:2014-11

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 3: Determination of 31 elements in high-purity nitric acid by ICP-MS.
(Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 3: Bestimmung von 31 Elementen in hochreiner Salpetersäure mittels ICP-MS.)

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Detailinformationen

Bezeichnung: DIN 50451-3:2014-11

Ausgabedatum: 01.11.2014

Seiten: 19

Land: Deutsche technische Norm

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Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 3: Bestimmung von 31 Elementen in hochreiner Salpetersäure mittels ICP-MS.

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