Aktiv Normen | Herausgegeben: 01.11.2014

DIN 50451-6:2014-11

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 6: Determination of 36 elements in a high-purity ammonium fluoride solution (NH4; F) and in etching mixtures of high-purity ammonium fluoride solution containing hydrofluoric acid.
(Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 6: Bestimmung von 36 Elementen in hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung (NH4; F) und Ätzmischungen aus hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung mit Flusssäure.)

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Detailinformationen

Bezeichnung: DIN 50451-6:2014-11

Ausgabedatum: 01.11.2014

Seiten: 14

Land: Deutsche technische Norm

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Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 6: Bestimmung von 36 Elementen in hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung (NH4; F) und Ätzmischungen aus hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung mit Flusssäure.

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