Aktiv Normen | Herausgegeben: 01.03.2012

DIN EN 62047-10:2012-03

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micro-pillar compression test for MEMS materials.
(Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 10: Druckprüfverfahren an zylinderförmigen Mikroproben für Werkstoffe der Mikrosystemtechnik.)

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Detailinformationen

Bezeichnung: DIN EN 62047-10:2012-03

Ausgabedatum: 01.03.2012

Seiten: 13

Land: Deutsche technische Norm

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Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 10: Druckprüfverfahren an zylinderförmigen Mikroproben für Werkstoffe der Mikrosystemtechnik.

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