Aktiv Normen | Herausgegeben: 01.04.2015

DIN EN 62047-21:2015-04

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson´s ratio of thin film MEMS materials.
(Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 21: Prüfverfahren zur Querkontraktionszahl von Dünnschichtwerkstoffen der Mikrosystemtechnik.)

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Detailinformationen

Bezeichnung: DIN EN 62047-21:2015-04

Ausgabedatum: 01.04.2015

Seiten: 16

Land: Deutsche technische Norm

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Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 21: Prüfverfahren zur Querkontraktionszahl von Dünnschichtwerkstoffen der Mikrosystemtechnik.

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