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Cleanrooms and associated controlled environments - Part 9: Assessment of surface cleanliness for particle concentration.
(Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 9: Bewertung der partikulären Oberflächenreinheit.)
Verfügbare Sprachen: Deutsch, Englisch
Verfügbare Ausführung: PDF - sofortiges Download, Gedruckt
Bezeichnung: DIN EN ISO 14644-9:2022-10
Ausgabedatum: 01.10.2022
Seiten: 39
Land: Deutsche technische Norm