Ungültige | Herausgegeben: 01.12.1989

E DIN 50450-2:1989-12 Ungültige

Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of oxygen impurity in N2, Ar, He, Ne and H2 by using a galvanic cell.
(Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung der Sauerstoffverunreinigung in Stickstoff, Argon, Helium, Neon und Wasserstoff mittels einer galvanischen Meßzelle.)

Verfügbare Sprachen: Deutsch

Verfügbare Ausführung: Gedruckt

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Detailinformationen

Bezeichnung: E DIN 50450-2:1989-12

Ausgabedatum: 01.12.1989

Seiten: 4

Anmerkung: Ungültige

Land: Deutsche technische Norm

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Annotation

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung der Sauerstoffverunreinigung in Stickstoff, Argon, Helium, Neon und Wasserstoff mittels einer galvanischen Meßzelle.

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