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Aktiv Normen | Herausgegeben: 15.09.2017
IEC 62047-30-ed.1.0
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 30: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film
Verfügbare Sprachen: Englisch
Verfügbare Ausführung: Elektronische PDF, Gedruckt, CD-ROM
ab 149.10 EUR
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Detailinformationen
Bezeichnung: IEC 62047-30-ed.1.0
Ausgabedatum: 15.09.2017
Seiten: 20
Land: Internationale technische Norm
Wo ist es zu kaufen?
Erhältlich auf www.technormen.deAnnotation
IEC 62047-30:2017(E) specifies measuring methods of electro-mechanical conversion characteristics of piezoelectric thin film used for micro sensors and micro actuators, and its reporting schema to determine the characteristic parameters for consumer, industry or any other applications of piezoelectric devices. This document applies to piezoelectric thin films fabricated by MEMS processPopuläre Herausgeber
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