Aktiv Normen | Herausgegeben: 12.03.2021

ISO/TS 21383:2021

Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Qualification of the scanning electron microscope for quantitative measurements
(Analyse par microfaisceaux - Microscopie électronique a balayage - Qualification du microscope électronique a balayage pour des mesures quantitatives)

Verfügbare Sprachen: Englisch

Verfügbare Ausführung: Elektronische PDF, Gedruckt

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Detailinformationen

Bezeichnung: ISO/TS 21383:2021

Ausgabedatum: 12.03.2021

Seiten: 59

Land: Internationale technische Norm

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Annotation

Description / Abstract: This document describes methods to qualify the scanning electron microscope with the digital imaging system for quantitative and qualitative SEM measurements by evaluating essential scanning electron microscope performance parameters to maintain the performance after installation of the instruments. The items and evaluating methods of the performance parameters are selected by users for their own purposes.

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