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Aktiv Normen | Herausgegeben: 01.08.2015
UNE-EN 62047-16:2015
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 16: Test methods for determining residual stresses of MEMS films – Wafer curvature and cantilever beam deflection methods (Endorsed by AENOR in August of 2015.)
Verfügbare Sprachen: Englisch
Verfügbare Ausführung: Elektronische PDF, Gedruckt
ab 1 288.40 CZK
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Detailinformationen
Bezeichnung: UNE-EN 62047-16:2015
Ausgabedatum: 01.08.2015
Seiten: 15
Land: Spanische technische Norm
Wo ist es zu kaufen?
Erhältlich auf www.technormen.dePopuläre Herausgeber
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