ČSN EN 62047-10

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micro-pillar compression test for MEMS materials

Available languages: English (the title page in Czech only)

Available design: Print design

from 16.20 USD show on eshop

Detail information

Designation: ČSN EN 62047-10

Publication date: 01/03/2012

Pages: 24

Country: Czech technical standard

Where to buy?

You can buy at www.mystandards.biz

Anotation

Tato část IEC 62047 specifikuje zkušební metodu pro měření tlakových vlastností pomocí tlaku mikrosloupku. Metoda má vysokou přesnost, opakovatelnost a zkušební vzorek je snadno vyrobitelný. Měří se vztah napětí a deformace vzorku působící mimo jeho osu a stanovuje se tlakový modul pružnosti a mez tečení.
Zkušebním přípravkem je válcový sloupek vyrobený z neohebného (velmi tuhého) substrátu určeného pro mikrostrojní technologie. Poměr průměru a výšky sloupku by měl být více jak 3. Tato norma se může použít pro kovové, keramické a polymerní materiály

Popular Publishers

full catalog