ČSN EN 62047-17

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films

Available languages: English (the title page in Czech only)

Available design: Print design

from 16.80 USD show on eshop

Detail information

Designation: ČSN EN 62047-17

Publication date: 01/09/2015

Pages: 36

Country: Czech technical standard

Where to buy?

You can buy at www.mystandards.biz

Anotation

Tato norma popisuje metodu pro provádění zkoušek vyboulením vrstvy bez podložky, která je vyboulena přes okénko. Vzorek je vyroben s mikro/nano konstrukčních vrstvových materiálů včetně kovových, keramických a polymerních vrstev, které se používají pro MEMS, mikrostroje a další. Tloušťka vrstvy je v rozsahu od 0,1 µm do 10 µm a šířka obdélníkového a čtvercového okénka a průměr kruhové membrány je v rozsahu od 0,5 mm do 4 mm.
Tyto zkoušky se provádějí při pokojové teplotě, působením rovnoměrně rozloženého tlaku na vzorek zkoušené vrstvy přes okénko.
Touto metodou se může určit modul pružnosti a zbytkové pnutí pro vrstvové materiály

Popular Publishers

full catalog