ČSN EN 62047-8

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 8: Strip bending test method for tensile property measurement of thin films

Available languages: English (the title page in Czech only)

Available design: Print design

from 16.20 USD show on eshop

Detail information

Designation: ČSN EN 62047-8

Publication date: 01/12/2011

Pages: 28

Country: Czech technical standard

Where to buy?

You can buy at www.mystandards.biz

Anotation

Tato norma definuje zkušební metodu ohýbání proužku pro měření tahových vlastností tenkých vrstev. Vyznačuje se vysokou přesností, opakovatelností a přiměřenou snahou, aby zkouška byla srovnatelná s konvenční zkouškou. Tato zkušební metoda je platná pro zkoušené vzorky s tloušťkou mezi 50 nm až několika µm a s ohledem na poměr délky a tloušťky větší jak 300.
Proužek (nebo můstek), který je zavěšený mezi dvěma upevněnými podložkami je součástí MEMS, nebo mikrostroje. To umožňuje snadnější výrobu mikroproužku, než vzorků pro normalizovanou zkoušku. Zkušební postupy jsou tak jednoduché, že se dají snadno automatizovat. Tato norma může sloužit pro určování kvality při MEMS ve výrobě, protože průchodnost zkoušky je ve srovnání s klasickou zkouškou vysoká

Popular Publishers

full catalog