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Active standard | Published: 01/06/2015
DIN 32567-5:2015-06
Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 5: Derivation of correction values for optical measuring devices.
(Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 5: Ableitung von Korrekturwerten für optische Messgeräte.)
Available languages: German
Available design: PDF - Immediate download, Print design
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Detail information
Designation: DIN 32567-5:2015-06
Publication date: 01/06/2015
Pages: 18
Country: German technical standard
Where to buy?
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Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 5: Ableitung von Korrekturwerten für optische Messgeräte.Popular Publishers
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