Active standard | Published: 13/07/2020

IEC 63068-3-ed.1.0

Semiconductor devices - Non-destructive recognition criteria of defects in silicon carbide homoepitaxial wafer for power devices - Part 3: Test method for defects using photoluminescence
(Dispositifs a semiconducteurs - Criteres de reconnaissance non destructifs des defauts au sein d’une plaquette homoepitaxiale de carbure de silicium pour des dispositifs d’alimentation - Partie 3 : Methode d’essai pour les defauts a l’aide de la photoluminescence)

Available languages: English and French

Available design: electronic design (pdf), Print design, CD-ROM

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Detail information

Designation: IEC 63068-3-ed.1.0

Publication date: 13/07/2020

Pages: 0

Country: International technical standard

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Anotation

IEC 63068-3:2020 provides definitions and guidance in use of photoluminescence for detecting as-grown defects in commercially available 4H-SiC (Silicon Carbide) epitaxial wafers. Additionally, this document exemplifies photoluminescence images and emission spectra to enable the detection and categorization of the defects in SiC homoepitaxial wafers. L’IEC 63068-3:2020 decrit les definitions et les recommandations relatives a l’utilisation de la photoluminescence pour la detection de defauts bruts au sein de plaquettes homoepitaxiales en carbure de silicium (4H-SiC) disponibles dans le commerce. De plus, le present document donne des exemples d’images de photoluminescence et de spectres d’emission, permettant la detection et la categorisation des defauts au sein de plaquettes homoepitaxiales en SiC.

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