Active standard | Published: 01/08/2003

ÖNORM EN ISO 10692-2

Gas cylinders - Gas cylinder valve connections for use in the microelectronics industry - Part 2: Specification and type testing for valve to cylinder connections (ISO 10692-2:2001)

Available languages: English, German

Available design: electronic design (pdf), Print design

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Detail information

Designation: ÖNORM EN ISO 10692-2

Publication date: 01/08/2003

Pages: 11

Country: Austrian technische Norm

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Anotation

Festgelegt sind die Prüffolgen und die Abnahmebedingungen für Ventil- und Flaschenverbindungen für Gase und Gasgemische für bestimmte Betriebsbedingungen, bei denen der höchste Reinheitsgrad und/oder die höchste Partikelfreiheit gefordert wird, zB bei der Herstellung von Komponenten der Mikroelektronik. Für die Anforderungen an die Haltbarkeit sind zusätzliche Prüfungen enthalten.

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