Active standard | Published: 15/02/2017

ÖNORM EN ISO 14644-14

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration (ISO 14644-14:2016)

Available languages: English, German

Available design: electronic design (pdf), Print design

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Detail information

Designation: ÖNORM EN ISO 14644-14

Publication date: 15/02/2017

Pages: 29

Country: Austrian technische Norm

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Anotation

Dieser Teil von ISO 14644 legt eine Methodik zur Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Geräten (z. B. Maschinen, Messgeräte, Prozessausrüstung, Komponenten und Werkzeuge) für die Anwendung in Reinräumen und zugehörigen kontrollierten Bereichen in Bezug auf die luftgetragene Partikelreinheit nach den Festlegungen in ISO 14644-1 fest. Der Partikelgrößenbereich reicht von 0,1 µm bis gleich oder größer als 5 µm (in ISO 14644-1 angegeben). Die folgenden Aspekte sind nicht durch diesen Teil von ISO 14644 abgedeckt: - Bewertung der Tauglichkeit in Bezug auf die Biokontamination; - Prüfung zur Tauglichkeit von Dekontaminationsmitteln und -techniken; - Reinigungsfähigkeit der Geräte und Materialien; - Anforderungen an die konstruktive Auslegung von Geräten und die Auswahl von Materialien; - physikalische Materialeigenschaften (z. B. elektrostatische, thermische Eigenschaften); - Optimierung der Geräteleistung für spezifische Prozessanwendungen; - Auswahl und Anwendung statistischer Verfahren für die Prüfung; - Protokolle und Anforderungen hinsichtlich regionaler Sicherheitsvorschriften.

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