Active standard | Published: 01/04/2018

ÖNORM EN ISO 14644-15

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 15: Assessment of suitability for use of equipment and materials by airborne chemical concentration (ISO 14644-15:2017)

Available languages: English, German

Available design: electronic design (pdf), Print design

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Detail information

Designation: ÖNORM EN ISO 14644-15

Publication date: 01/04/2018

Pages: 29

Country: Austrian technische Norm

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Anotation

Dieses Dokument enthält Anforderungen und Richtlinien zur Bewertung der chemischen luftgetragenen Reinheit von Ausrüstungsgegenständen und Materialien, die für den Gebrauch in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen vorgesehen sind, die mit der ISO-Norm für Reinheitsklassen anhand der chemischen Konzentration (siehe ISO 14644-8) zusammenhängen. Die folgenden Bereiche werden von diesem Dokument nicht abgedeckt: - Gesundheits- und Sicherheitsanforderungen; - Kompatibilität mit Reinigungsmitteln und -techniken; - Reinigungsfähigkeit; - Biokontamination; - bestimmte Anforderungen an Ausrüstungsgegenstände und Materialien für Prozesse und Produkte; - Konstruktionsdetails der Ausrüstungsgegenstände.

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