DIN - Německé národní normy

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration.
(Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 14: Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Geräten durch Partikelkonzentration in der Luft.)

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Cleanrooms and associated controlled environments - Part 15: Assessment of suitability for use of equipment and materials by airborne chemical concentration.
(Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 15: Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Ausrüstungsgegenständen und Materialien anhand der chemischen Luft- und Oberflächenkonzentration.)

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Cleanrooms and associated controlled environments - Part 16: Energy efficiency in cleanrooms and separative devices.
(Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 16: Energieeffizienz von Reinräumen und Reinluftgeräten.)

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Cleanrooms and associated controlled environments - Part 17: Particle deposition rate applications.
(Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 17: Anwendungen zur Partikelabscheidungsrate.)

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Cleanrooms and associated controlled environments - Part 18: Assessment of suitability of consumables.
(Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 18: Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Verbrauchsgegenständen.)

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Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration.
(Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 2: Überwachung zum Nachweis der Reinraumleistung bezüglich Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration.)

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Cleanrooms and associated controlled environments - Part 3: Test methods.
(Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 3: Prüfverfahren.)

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Cleanrooms and associated controlled environments - Part 4: Design, construction and start-up.
(Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 4: Planung, Ausführung und Erst-Inbetriebnahme.)

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Cleanrooms and associated controlled environments - Part 5: Operations.
(Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 5: Betrieb.)

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Cleanrooms and associated controlled environments - Part 7: Separative devices (clean air hoods, gloveboxes, isolators and mini-environments).
(Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 7: SD-Module (Reinlufthauben, Handschuhboxen, Isolatoren und Minienvironments).)

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