ČSN EN 62047-11

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems

Dostupné jazyky: Anglicky (v českom jazyku len titulná strana)

Dostupné prevedenie: Tlačené

od 14.50 EUR zobraziť na eshopu

Podrobné informácie

Označenie: ČSN EN 62047-11

Dátum vydania: 01.04.2014

Stránok: 32

Krajina: Česká technická norma

Kde kúpiť?

Môžete zakúpiť na eshop.normservis.sk

Anotácia

Tato norma popisuje zkušební metodu na měření lineárního koeficientu teplotní roztažnosti (CLTE) volně umístěných pevných (kovových, keramických, polymerních aj.) materiálů pro mikroelektromechanické systémy (MEMS) délek mezi 0,1 mm až 1 mm a šířek mezi 10 _m až 1 mm s tloušťkami od 0,1 _m do 1 mm. Jedná se o hlavní konstrukční materiály, které se používají pro MEMS, mikrostroje a další. Tato zkušební metoda se dá použít pro měření CLTE v teplotním rozsahu od pokojové teploty do 30 % teploty tavení materiálu

Populárna vydavatelia

celý katalóg