Aktivní norma | Vydána: 15.02.2023

ÖNORM EN ISO 23216

Kohlenstoffschichten - Bestimmung der optischen Eigenschaften von amorphen Kohlenstoffschichten mittels spektrokopischer Ellipsometrie (ISO 23216:2021)

Dostupné jazyky: Anglicky, Německy

Dostupné provedení: Elektronické PDF, Tištěné

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Podrobné informace

Označení: ÖNORM EN ISO 23216

Datum vydání: 15.02.2023

Stran: 14

Země: Rakouská technická norma

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Anotace

Dieses Dokument legt die spektroskopische Ellipsometrie für die Bestimmung der optischen Eigenschaften (Brechungsindex n und Extinktionskoeffizient k) und die optische Klassifizierung verschiedener Typen von amorphen Kohlenstoffschichten innerhalb der n-k-Ebene fest. Es ist auf amorphe Kohlenstoffschichten anwendbar, die durch ionisiertes Verdampfen, Sputtern, Lichtbogenabscheidung, plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung, Heißdrahtverfahren und andere Verfahren abgeschieden wurden. Es ist nicht anwendbar für Kohlenstoffschichten, die mit Metallen oder Silizium verändert worden sind, für amorphe Kohlenstoffschichten, die einen Gradienten ihrer Zusammensetzung/Eigenschaft in der Schichtdicke aufweisen, und für Farben und Lacke.

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