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Ungültige | Herausgegeben: 10.12.1999
ASTM F1238-95(2003) Ungültige
Standard Specification for Refractory Silicide Sputtering Targets for Microelectronic Applications
Verfügbare Sprachen: Englisch
Verfügbare Ausführung: Sicheres Online-PDF
ab 69.70 EUR
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Detailinformationen
Bezeichnung: ASTM F1238-95(2003)
Ausgabedatum: 10.12.1999
Seiten: 2
Anmerkung: Ungültige
Land: Amerikanische technische Norm
Wo ist es zu kaufen?
Erhältlich auf www.technormen.deAnnotation
Keywords:density, microelectronics, molybdenum, disilicide, refractory silicides, sputtering, sputtering targets, tantalum disilicide, titanium disilicide, tungsten disilicide, ICS Number Code 31.100 (Electronic tubes)
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