Ungültige | Herausgegeben: 01.01.2005

ASTM F1398-93(2005) Ungültige

Standard Test Method for Determination of Total Hydrocarbon Contribution by Gas Distribution System Components

Verfügbare Sprachen: Englisch

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Detailinformationen

Bezeichnung: ASTM F1398-93(2005)

Ausgabedatum: 01.01.2005

Seiten: 10

Anmerkung: Ungültige

Land: Amerikanische technische Norm

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Erhältlich auf www.technormen.de

Annotation

Keywords:
Argon, Condensable hydrocarbons, Contamination, Flame ionization detectors (FID), Flow and flow rate-semiconductor applications, Gas distribution systems, Hydrocarbons, Instrumental measurement, Mass flow controller (MFC), Methane (CH[inf]4[reset]) equivalent, Minimum detection limit (MDL), Nitrogen, Noncondensable hydrocarbons, Semiconductor clean rooms, Spectrometry-mass, Spool piece, Stainless steel-gas distribution systems, Total hydrocarbons (THC)

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