Aktiv Normen | Herausgegeben: 01.05.2007

ČSN EN 62047-2

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials

Verfügbare Sprachen: Englisch (nur die Titelseite ist in der tschechischen Sprache)

Verfügbare Ausführung: Gedruckt

ab 14.50 EUR im E-Shop anzeigen

Detailinformationen

Bezeichnung: ČSN EN 62047-2

Ausgabedatum: 01.05.2007

Seiten: 32

Land: Tschechische technische Norm

Wo ist es zu kaufen?

Erhältlich auf www.technormen.de

Annotation

Tato mezinárodní norma specifikuje metody zkoušek v tahu tenkovrstvových materiálů o délce a šířce pod 1 mm a tloušťce pod 10 µm, které jsou hlavním materiálem struktury mikroelektromechanických systémů (MEMS), mikrostrojů a podobných součástek.
Hlavní materiály struktur pro MEMS, mikrostroje a podobné součástky se vyznačují typickými rozměry v řádu několika mikrometrů, výrobou materiálů pomocí nanášení a výrobou zkušebních kusů pomocí nemechanického obrábění, které používá leptání a fotolitografii. Tato mezinárodní norma popisuje zkušební metodu, která umožňuje zaručovanou přesnost odpovídající speciálním požadavkům.
Přejímaná EN 62047-2 představuje 3 strany anglického textu a 25 stran anglického a francouzského textu normy IEC

Populäre Herausgeber

der ganze Katalog