Aktivní norma | Vydána: 01.05.2007

ČSN EN 62047-2

Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 2: Metody zkoušek v tahu tenkovrstvových materiálů. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).

Dostupné jazyky: Anglicky (v českém jazyce pouze titulní strana)

Dostupné provedení: Tištěné

od 350.00 CZK zobrazit na eshopu

Podrobné informace

Označení: ČSN EN 62047-2

Datum vydání: 01.05.2007

Stran: 32

Země: Česká technická norma

Kde koupit?

Můžete zakoupit na eshop.normservis.cz

Anotace

Tato mezinárodní norma specifikuje metody zkoušek v tahu tenkovrstvových materiálů o délce a šířce pod 1 mm a tloušťce pod 10 µm, které jsou hlavním materiálem struktury mikroelektromechanických systémů (MEMS), mikrostrojů a podobných součástek.
Hlavní materiály struktur pro MEMS, mikrostroje a podobné součástky se vyznačují typickými rozměry v řádu několika mikrometrů, výrobou materiálů pomocí nanášení a výrobou zkušebních kusů pomocí nemechanického obrábění, které používá leptání a fotolitografii. Tato mezinárodní norma popisuje zkušební metodu, která umožňuje zaručovanou přesnost odpovídající speciálním požadavkům.
Přejímaná EN 62047-2 představuje 3 strany anglického textu a 25 stran anglického a francouzského textu normy IEC

Populární vydavatelé

celý katalog