ČSN EN ISO 23131

Ellipsometry - Principles

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Detailinformationen

Bezeichnung: ČSN EN ISO 23131

Ausgabedatum: 01.04.2023

Seiten: 28

Land: Tschechische technische Norm

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Erhältlich auf www.technormen.de

Annotation

This document specifies a method for determining optical and dielectric constants in the UV-VIS-NIR spectral range as well as layer thicknesses in the field of at-line production control, quality assurance and material development through accredited test laboratories.
It is applicable to stand-alone measuring systems. The presentation of the uncertainty of results conforms to ISO/IEC Guide 98-3

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