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Semiconductor devices - Time Dependent Dielectric Breakdown (TDDB) test for gate dielectric films.
(Halbleiterbauelemente - Prüfung des zeitabhängigen dielektrischen Durchbruchs (TDDB) für dielektrische Gate-Schichten.)
Verfügbare Sprachen: Deutsch
Verfügbare Ausführung: PDF - sofortiges Download, Gedruckt
Bezeichnung: DIN EN 62374:2008-02
Ausgabedatum: 01.02.2008
Seiten: 24
Land: Deutsche technische Norm