Aktiv Normen | Herausgegeben: 14.10.2021

IEC/TS 62607-9-1-ed.1.0

Nanomanufacturing - Key control characteristics - Part 9-1: Traceable spatially resolved nano-scale stray magnetic field measurements - Magnetic force microscopy

Verfügbare Sprachen: Englisch

Verfügbare Ausführung: Elektronische PDF, Gedruckt, CD-ROM

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Detailinformationen

Bezeichnung: IEC/TS 62607-9-1-ed.1.0

Ausgabedatum: 14.10.2021

Seiten: 63

Land: Internationale technische Norm

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Annotation

IEC TS 62607-9-1:2021(E) establishes a standardized method to characterize spatially varying magnetic fields with a spatial resolution down to 10 nm for flat magnetic specimens by magnetic force microscopy (MFM). MFM primarily detects the stray field component perpendicular to the sample surface. The resolution is achieved by the calibration of the MFM tip using magnetically nanostructured reference materials.

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