Aktiv Normen | Herausgegeben: 24.01.2019

IEC 62047-32-ed.1.0

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 32: Test method for the nonlinear vibration of MEMS resonators
(Dispositifs a semiconducteurs - Dispositifs microelectromecaniques - Partie 32: Methode d’essai pour la vibration non lineaire des resonateurs MEMS)

Verfügbare Sprachen: Englisch und Französisch

Verfügbare Ausführung: Elektronische PDF, Gedruckt, CD-ROM

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Detailinformationen

Bezeichnung: IEC 62047-32-ed.1.0

Ausgabedatum: 24.01.2019

Seiten: 37

Land: Internationale technische Norm

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Annotation

IEC 62047-32:2019 specifies the test method and test condition for the nonlinear vibration of MEMS resonators. The statements made in this document apply to the development and manufacture for MEMS resonators. L’IEC 62047-32:2019 specifie la methode d’essai et les conditions d’essai pour la vibration non lineaire des resonateurs MEMS. Les enonces du present document s’appliquent au developpement et a la fabrication des resonateurs MEMS.

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