Aktiv Normen | Herausgegeben: 19.06.2025

ISO 11505:2025-ed.2.0

Surface chemical analysis — General procedures for quantitative compositional depth profiling by glow discharge optical emission spectrometry
(Analyse chimique des surfaces — Modes opératoires généraux pour le profilage en profondeur compositionnel quantitatif par spectrométrie d´émission optique a décharge luminescente)

Verfügbare Sprachen: Englisch

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Detailinformationen

Bezeichnung: ISO 11505:2025-ed.2.0

Ausgabedatum: 19.06.2025

Seiten: 34

Land: Internationale technische Norm

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Annotation

Description / Abstract: This document specifies a glow discharge optical emission spectrometric (GD-OES) method for the determination of the thickness, mass per unit area and chemical composition of surface layer films. The applicability of this document is limited to description of general procedures for quantification of the chemical composition and thickness in GD-OES compositional depth profiling. This document is not directly applicable for quantification of individual materials having various thicknesses and elements to be determined.

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