Aktiv Normen | Herausgegeben: 01.08.2003

ÖNORM EN ISO 10692-1

Gas cylinders - Gas cylinder valve connections for use in the microelectronics industry - Part 1: Outlet connections (ISO 10692-1:2001)

Verfügbare Sprachen: Deutsch, Englisch

Verfügbare Ausführung: Elektronische PDF, Gedruckt

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Detailinformationen

Bezeichnung: ÖNORM EN ISO 10692-1

Ausgabedatum: 01.08.2003

Seiten: 24

Land: Österreichische technische Norm

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Erhältlich auf www.technormen.de

Annotation

Festgelegt sind die besonderen Anforderungen an Seitenanschlüsse von Gasflaschenventilen für Gase und Gasgemische hinsichtlich Reinheitsgrad und Partikelfreiheit bei der Herstellung von Komponenten für die Mikroelektronik. Weiters sind Bestimmungen hinsichtlich Leckraten für den Betrieb enthalten.

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