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Active standard | Published: 01/08/2003
ÖNORM EN ISO 10692-1
Gas cylinders - Gas cylinder valve connections for use in the microelectronics industry - Part 1: Outlet connections (ISO 10692-1:2001)
Available languages: English, German
Available design: electronic design (pdf), Print design
from 99.60 EUR
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Detail information
Designation: ÖNORM EN ISO 10692-1
Publication date: 01/08/2003
Pages: 24
Country: Austrian technische Norm
Where to buy?
You can buy at www.mystandards.bizAnotation
Festgelegt sind die besonderen Anforderungen an Seitenanschlüsse von Gasflaschenventilen für Gase und Gasgemische hinsichtlich Reinheitsgrad und Partikelfreiheit bei der Herstellung von Komponenten für die Mikroelektronik. Weiters sind Bestimmungen hinsichtlich Leckraten für den Betrieb enthalten.Popular Publishers
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