Aktiv Normen | Herausgegeben: 15.02.2023

ÖNORM EN ISO 23131

Ellipsometry - Principles (ISO 23131:2021)

Verfügbare Sprachen: Deutsch, Englisch

Verfügbare Ausführung: Elektronische PDF, Gedruckt

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Detailinformationen

Bezeichnung: ÖNORM EN ISO 23131

Ausgabedatum: 15.02.2023

Seiten: 22

Land: Österreichische technische Norm

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Erhältlich auf www.technormen.de

Annotation

Dieses Dokument legt ein Verfahren zur Bestimmung optischer und dielektrischer Konstanten im UV-VIS-NIR-Spektralbereich sowie von Schichtdicken im Bereich der at-line-Fertigungskontrolle, der Qualitätssicherung und der Materialentwicklung durch akkreditierte Prüflaboratorien fest. Es ist anwendbar für stand-alone-Messsysteme. Die Darstellung der Ergebnisunsicherheit entspricht dem ISO/IEC Guide 98-3.

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