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Active standard | Published: 15/02/2023
ÖNORM EN ISO 23131
Ellipsometry - Principles (ISO 23131:2021)
Available languages: English, German
Available design: electronic design (pdf), Print design
from 116.40 EUR
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Detail information
Designation: ÖNORM EN ISO 23131
Publication date: 15/02/2023
Pages: 22
Country: Austrian technische Norm
Where to buy?
You can buy at www.mystandards.bizAnotation
Dieses Dokument legt ein Verfahren zur Bestimmung optischer und dielektrischer Konstanten im UV-VIS-NIR-Spektralbereich sowie von Schichtdicken im Bereich der at-line-Fertigungskontrolle, der Qualitätssicherung und der Materialentwicklung durch akkreditierte Prüflaboratorien fest. Es ist anwendbar für stand-alone-Messsysteme. Die Darstellung der Ergebnisunsicherheit entspricht dem ISO/IEC Guide 98-3.Popular Publishers
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