ČSN EN 62047-12

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures

Available languages: English (the title page in Czech only)

Available design: Print design

from 20.90 USD show on eshop

Detail information

Designation: ČSN EN 62047-12

Publication date: 01/04/2012

Pages: 40

Country: Czech technical standard

Where to buy?

You can buy at www.mystandards.biz

Anotation

Tato norma definuje metodu pro zkoušení ohybové únavy, která používá rezonanční vibrace struktur MEMS (mikroelektromechanických systémů) a mikrostrojů. Tato norma je určena pro vibrující struktury, které mají rozměry od 10 _m do 1 000 _m v rovinném směru a tloušťku 1 _m až 100 _m a zkušební materiály pod 1mm délky, 1mm šířky a 0,1 _m až 10 _m tloušťky.
Hlavní konstrukční materiály, které se používají pro MEMS, mikrostroje atd. mají speciální vlastnosti, mezi které patří typické rozměry v rozsahu několika mikrometrů, speciální metoda nanášení, opracování nemechanickými metodami včetně fotolitografie. MEMS systémy mají často vyšší rezonanční kmitočet a vyšší pevnost než makrostruktury. Pro zjištění a zkoumání zaručené životnosti musí být použito namáhání ultravysokou cyklickou únavou (nad 1012 cyklů). Předmětem zkušební metody je zkoumání únavy při mechanickém namáhání u materiálů mikrorozměrů za použití vibrací aplikovaných v krátké době, při vysokém kmitočtu a vysokém zatížení resonátoru při ohybu

Popular Publishers

full catalog