ČSN EN 62047-12

Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 12: Metoda zkoušení ohybové únavy tenkovrstvých materiálů využívající rezonanční vibrace struktur MEMS. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).

Dostupné jazyky: Anglicky (v českém jazyce pouze titulní strana)

Dostupné provedení: Tištěné

od 434.00 CZK zobrazit na eshopu

Podrobné informace

Označení: ČSN EN 62047-12

Datum vydání: 01.04.2012

Stran: 40

Země: Česká technická norma

Kde koupit?

Můžete zakoupit na eshop.normservis.cz

Anotace

Tato norma definuje metodu pro zkoušení ohybové únavy, která používá rezonanční vibrace struktur MEMS (mikroelektromechanických systémů) a mikrostrojů. Tato norma je určena pro vibrující struktury, které mají rozměry od 10 _m do 1 000 _m v rovinném směru a tloušťku 1 _m až 100 _m a zkušební materiály pod 1mm délky, 1mm šířky a 0,1 _m až 10 _m tloušťky.
Hlavní konstrukční materiály, které se používají pro MEMS, mikrostroje atd. mají speciální vlastnosti, mezi které patří typické rozměry v rozsahu několika mikrometrů, speciální metoda nanášení, opracování nemechanickými metodami včetně fotolitografie. MEMS systémy mají často vyšší rezonanční kmitočet a vyšší pevnost než makrostruktury. Pro zjištění a zkoumání zaručené životnosti musí být použito namáhání ultravysokou cyklickou únavou (nad 1012 cyklů). Předmětem zkušební metody je zkoumání únavy při mechanickém namáhání u materiálů mikrorozměrů za použití vibrací aplikovaných v krátké době, při vysokém kmitočtu a vysokém zatížení resonátoru při ohybu

Populární vydavatelé

celý katalog