ČSN EN 62047-22

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 22: Electromechanical tensile test method for conductive thin films on flexible substrates

Available languages: English (the title page in Czech only)

Available design: Print design

from 14.00 EUR show on eshop

Detail information

Designation: ČSN EN 62047-22

Publication date: 01/04/2015

Pages: 24

Country: Czech technical standard

Where to buy?

You can buy at www.mystandards.biz

Anotation

Tato norma stanovuje metodu pro zkoušku tahem pro měření elektromechanických vlastností materiálů vodivých tenkovrstvých mikroelektromechanických systémů (MEMS), které jsou upevněny na nevodivé pružné substráty. Vodivé tenkovrstvé struktury na pružných substrátech jsou ve velké míře používány pro MEMS, spotřební výrobky a v oblasti pružné elektroniky. Elektrické chování vrstev na pružných substrátech je odlišné od vlastností samonosných vrstev a substrátů v důsledku mezivrstvového působení. Rozdílné kombinace pružných substrátů a tenkých vrstev mají často různé vlivy na výsledky zkoušek a na mezivrstvovou adhezi. Požadovaná tloušťka tenkých MEMS materiálů je 50krát menší než je tloušťka pružného substrátu, zatímco všechny ostatní rozměry jsou navzájem podobné

Popular Publishers

full catalog