ČSN EN 62047-22

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 22: Electromechanical tensile test method for conductive thin films on flexible substrates

Dostupné jazyky: Anglicky (v českom jazyku len titulná strana)

Dostupné prevedenie: Tlačené

od 16.20 USD zobraziť na eshopu

Podrobné informácie

Označenie: ČSN EN 62047-22

Dátum vydania: 01.04.2015

Stránok: 24

Krajina: Česká technická norma

Kde kúpiť?

Môžete zakúpiť na eshop.normservis.sk

Anotácia

Tato norma stanovuje metodu pro zkoušku tahem pro měření elektromechanických vlastností materiálů vodivých tenkovrstvých mikroelektromechanických systémů (MEMS), které jsou upevněny na nevodivé pružné substráty. Vodivé tenkovrstvé struktury na pružných substrátech jsou ve velké míře používány pro MEMS, spotřební výrobky a v oblasti pružné elektroniky. Elektrické chování vrstev na pružných substrátech je odlišné od vlastností samonosných vrstev a substrátů v důsledku mezivrstvového působení. Rozdílné kombinace pružných substrátů a tenkých vrstev mají často různé vlivy na výsledky zkoušek a na mezivrstvovou adhezi. Požadovaná tloušťka tenkých MEMS materiálů je 50krát menší než je tloušťka pružného substrátu, zatímco všechny ostatní rozměry jsou navzájem podobné

Populárna vydavatelia

celý katalóg