ČSN EN 62047-26

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures

Available languages: English (the title page in Czech only)

Available design: Print design

from 17.90 EUR show on eshop

Detail information

Designation: ČSN EN 62047-26

Publication date: 01/08/2016

Pages: 40

Country: Czech technical standard

Where to buy?

You can buy at www.mystandards.biz

Anotation

Tato norma specifikuje popisy struktur zářezů a jehel v mikrometrovém měřítku. Dále poskytuje příklady měření pro geometrii obou struktur. Norma platí pro struktury zářezů s hloubkou od 1 µm do 100 µm, stěnami a zářezy s příslušnými šířkami od 5 µm do 150 µm a poměrem (hloubky zářezu k šířce zářezu) 0,006 7 až 20 a dále pro jehlové struktury se třemi nebo čtyřmi plochami s výškou, vodorovnou a svislou šířkou 2 µm nebo větší a s rozměry, které se vejdou do krychle o straně 100 µm. Norma platí pro navrhování konstrukcí MEMS a pro geometrické hodnocení po procesech zhotovení MEMS

Popular Publishers

full catalog