ČSN EN 62047-26

Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 26: Popis a měřicí metody pro mikrostruktury zářezů a jehel. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).

Dostupné jazyky: Anglicky (v českém jazyce pouze titulní strana)

Dostupné provedení: Tištěné

od 434.00 CZK zobrazit na eshopu

Podrobné informace

Označení: ČSN EN 62047-26

Datum vydání: 01.08.2016

Stran: 40

Země: Česká technická norma

Kde koupit?

Můžete zakoupit na eshop.normservis.cz

Anotace

Tato norma specifikuje popisy struktur zářezů a jehel v mikrometrovém měřítku. Dále poskytuje příklady měření pro geometrii obou struktur. Norma platí pro struktury zářezů s hloubkou od 1 µm do 100 µm, stěnami a zářezy s příslušnými šířkami od 5 µm do 150 µm a poměrem (hloubky zářezu k šířce zářezu) 0,006 7 až 20 a dále pro jehlové struktury se třemi nebo čtyřmi plochami s výškou, vodorovnou a svislou šířkou 2 µm nebo větší a s rozměry, které se vejdou do krychle o straně 100 µm. Norma platí pro navrhování konstrukcí MEMS a pro geometrické hodnocení po procesech zhotovení MEMS

Populární vydavatelé

celý katalog