Potřebujeme Váš souhlas k využití jednotlivých dat, aby se Vám mimo jiné mohli ukazovat informace týkající se Vašich zájmů. Souhlas udělíte kliknutím na tlačítko „OK“.
Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics). Test method for plasma resistance of ceramic components in semiconductor manufacturing equipment.
Dostupné jazyky: Anglicky
Dostupné provedení: PDF - okamžité stažení, Tištěné
Označení: BS ISO 21859:2019
Datum vydání: 19.06.2019
Stran: 12
Země: Britská technická norma