ČSN IEC 62880-1

Polovodičové součástky - Normalizovaná zkouška migrace vyvolaná namáháním - Část 1: Normalizovaná zkouška namáhání mědi. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).

Dostupné jazyky: Anglicky (v českém jazyce pouze titulní strana)

Dostupné provedení: Tištěné

od 350.00 CZK zobrazit na eshopu

Podrobné informace

Označení: ČSN IEC 62880-1

Datum vydání: 01.06.2018

Stran: 32

Země: Česká technická norma

Kde koupit?

Můžete zakoupit na eshop.normservis.cz

Anotace

Tato norma stanovuje metody stárnutí při stálé teplotě (izotermické) pro zkušební struktury pro měděné (Cu) pokovení na mikroelektronických křemíkových deskách pro stanovení náchylnosti na vytváření dutinek vytvořených namáháním (SIV). Tato metoda se používá při technologickém vývoji výroby na úrovni křemíkových desek a její výsledky slouží k předpovídání životnosti a analýze poruch. Za určitých podmínek je možno tuto metodu využít pro zkoušení pouzder. Metoda není určena pro kontrolu výrobních dávek před odesláním, protože doba zkoušení je dlouhá.
Dvojitě damaskované Cu metalizační systémy se obvykle skládají z tantalové (Ta) nebo tantalnitridové (TaN) výstelky, která je utvořena na dně, nebo bocích kanálku v dielektriku, který je vytvořen leptáním dielektrické podložky. Z toho důvodu mohou systémy, které se skládají ze samostatných průchozích kontaktů s širokou vodivou cestou pod nimi, pokud mají chybějící vodivou cestu pod průchodem, vykazovat přerušení stejně, jako to může způsobit procentuální změna odporu, která splňuje kritérium poruchy

Populární vydavatelé

celý katalog