Aktivní norma | Vydána: 20.08.2015

ISO 13083:2015

Surface chemical analysis — Scanning probe microscopy — Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes
(Analyse chimique des surfaces - Microscopie a sonde a balayage - Normes sur la définition et l´étalonnage de la résolution spatiale des microscopes électriques a sonde a balayage (ESPMs) comme SSRM et SCM pour l´imagerie 2D-dopant et d´autres fins)

Dostupné jazyky: Anglicky

Dostupné provedení: Elektronické PDF, Tištěné

od 3 158.40 CZK zobrazit na eshopu

Podrobné informace

Označení: ISO 13083:2015

Datum vydání: 20.08.2015

Stran: 14

Země: Mezinárodní technická norma

Kde koupit?

Můžete zakoupit na eshop.normservis.cz

Anotace

Description / Abstract: ISO 13083:2015 describes a method for measuring the spatial (lateral) resolution of scanning capacitance microscopes (SCMs) or scanning spreading resistance microscopes (SSRMs), which are widely used in imaging the distribution of carriers and other electrical properties in semiconductor devices. The method involves the use of a sharp-edged artefact.

Populární vydavatelé

celý katalog