Aktivní norma | Vydána: 21.11.2022

ISO 14606:2022-ed.3.0

Surface chemical analysis — Sputter depth profiling — Optimization using layered systems as reference materials
(Analyse chimique des surfaces — Profilage d´épaisseur par bombardement — Optimisation a l´aide de systemes mono- ou multicouches comme matériaux de référence)

Dostupné jazyky: Anglicky

Dostupné provedení: Elektronické PDF, Tištěné

od 3 156.00 CZK zobrazit na eshopu

Podrobné informace

Označení: ISO 14606:2022-ed.3.0

Datum vydání: 21.11.2022

Stran: 17

Země: Mezinárodní technická norma

Kde koupit?

Můžete zakoupit na eshop.normservis.cz

Anotace

Description / Abstract: This document gives guidance and requirements on the optimization of sputter-depth profiling parameters using appropriate single-layered and multilayered reference materials, in order to achieve optimum depth resolution as a function of instrument settings in Auger electron spectroscopy, X-ray photoelectron spectroscopy and secondary ion mass spectrometry. This document is not intended to cover the use of special multilayered systems such as delta doped layers.

Populární vydavatelé

celý katalog