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Aktiv Normen | Herausgegeben: 19.03.2021
IEC/TR 63258-ed.1.0
Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films
Verfügbare Sprachen: Englisch
Verfügbare Ausführung: Elektronische PDF, Gedruckt, CD-ROM
ab 206.30 EUR
im E-Shop anzeigen
Detailinformationen
Bezeichnung: IEC/TR 63258-ed.1.0
Ausgabedatum: 19.03.2021
Seiten: 0
Land: Internationale technische Norm
Wo ist es zu kaufen?
Erhältlich auf www.technormen.deAnnotation
IEC TR 63258:2021 is a Technical Report focused on the practical protocol of ellipsometry to evaluate the thickness of nanoscale films. This document does not include any specification of the ellipsometers, but suggests how to minimize the data variation to improve data reproducibility.Populäre Herausgeber
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